硅光芯片中的奇特材料——二氧化硅(SiO2)(二氧化硅 芯片)

二氧化硅(SiO2)是一种奇特的材料,在半导体芯片的制程中,可以作为电介质材料隔离金属与金属或晶体管与晶体管,也可以作为阻挡材料保护特定区域不被掺杂和离子注入,某些场景下也可作为刻蚀阻挡层来提高刻蚀反应的选择性。

硅光芯片中的奇特材料——二氧化硅(SiO2)(二氧化硅 芯片)

在光电领域,绝缘体上硅(Silicon on insulator,SOI)中的BOX(buried oxide)层可以很好地吸收遮断SWIR(short wave infrared),可以用作高信噪比的红外传感器衬底材料,在硅光芯片中也有非常广阔的应用场景。在今天的晶圆级封装领域,一定厚度的SiO2也能与Si,SiO2以及SiN等材料形成良好的界面,提供强大的机械支撑性能。

硅光芯片中的奇特材料——二氧化硅(SiO2)(二氧化硅 芯片)

SiO2还具有很好的声学性能,同样是基于SOI的材料兼顾了性能与成本属性,相比砷化镓GaAs)和蓝宝石上硅(Silicon on Saphire,SOS)更胜一筹,逐渐赢得了市场,在射频芯片和物联网中得到了广泛应用。

硅光芯片中的奇特材料——二氧化硅(SiO2)(二氧化硅 芯片)

二氧化硅纳米颗粒是应用广泛的无机纳米材料,由于性能优异所以成为了产量最大的工程化纳米材料之一。随着表面改性研究的深入,使得二氧化硅的使用不再局限于传统材料、化工等领域,其在催化、光催化生物医药等新领域的应用也存在良好的前景。

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